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SK海力士突发！工厂氢氟酸化学物泄露！

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据韩媒《朝鲜日报》4月6日报道，SK海力士利川M16工厂3名工人在检查设备的过程中因毒性物质氟酸泄露受伤。M16工厂是此前竣工的DRAM生产工厂。当天上午11点34分时，在京畿道利川市SK海力士 M16工厂5楼的设备进行检查期间，发生氢氟酸泄漏事故。

氟酸是无色毒性氟化氢溶解在水中的挥发性液体。使用于半导体电路绘制Pattern的蚀刻制程中。

在这起事故中，一名30岁的工人的胳膊和腿被烧伤，另有两名雇员也因吸入氟酸气体转移至附近医院。据报道，3名均无生命危险。SK海力士表示，此次事故是在对新的M16工厂设备进行检查时发生的，对半导体生产没有影响。

（图片来源：朝鲜日报）

据悉，M16工厂将主要生产DRAM产品，总面积5.7万平方米。在2021年1月，SK海力士在韩国京畿道利川总部举行M16新厂竣工仪式，正式宣布新厂落地。

SK海力士首次在M16配备EUV（极紫外）光刻机，并从今年下半年起生产第四代1α纳米级DRAM产品。未来SK海力士将提高EUV设备利用率，进一步增强存储器半导体相关的先进工程技术领导力。

来源：半导体行业联盟

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文章来源：《化学进展》网址: http://www.hxjzzz.cn/zonghexinwen/2021/0409/971.html